대학원 반도체과학기술학과는 1990년 우수과학연구센터(SRC) 지정후 KIST, ETRI, KAIST, 삼성, LG종합기술원등 외부 연구기관, 기타 대학들과 깊은 교류를 통해 연구를 수행하고 있는 반도체물성연구소를 기반으로 1994년 석, 박사과정의 개설을 시작으로 많은 전문인력을 배출하였다.
대학원은 BK-21대학원 핵심사업팀으로 선정(신기능반도체연구팀)되는 등 대학원생이 학업과 연구에 정진할 수 있는 환경을 구축하고 있으며 반도체물성연구소, 반도체공정연구센터의 첨단의 연구시설을 활용한 연구 및 교육을 통해 학생들의 수준 높은 연구활동을 꾀하며 관련분야의 핵심 연구를 수행할 수 있는 탁월한 전문가로 성장하도록 한다.
대학원은 국내 뿐 아니라 외국의 학생들의 수학도 장려하고 있다.
SPRC provides the interdisciplinary graduate course in the field of Semiconductor Science and Technology. Any graduates of an approved university or of another approved institution of higher education, who are inters sted in this field coan apply for the Master's or Ph D. programmes.
Application from overseas are most welcome.