반도체물성연구소는 1990년 SRC(우수과학연구센터)로 지정되었으며 당해년도에 전북대학교부설 법정연구소로 1994년에는 법인으로 등록되었다.
1998년 1,500평의 신축 건물로 이전하여 종합적이고 효율적인 연구를 수행하고 있으며, 현재 교수와, 박사 후 연구원, 대학원생 등으로 구성된 연구진이 대학중점연구소 사업, 산학협력 및 위탁연구 사업 등 광 및 전자소자, 나노 구조 등 첨단 반도체 분야의 연구에 주력하고 있다.
또한, 2003년도부터 반도체공정연구소내에 반도체공정연구센터를 설치하여 화합물반도체 분야의 연구와 교육을 선도하는 명실상부한 핵심연구소의 위치를 공고히 하고 있다.
주요 연구 분야
- 반도체 발광 및 수광 소자 관련 연구
- 고온/고전력, 고주파 트랜지스터 및 집적회로 연구
- 반도체 나노 구조 및 그 응용에 관한 연구
- 반도체의 전기 광학적 특성 등 물리적 현상과 신기능 소자에 관한 연구
- 반도체 신소재에 관한 연구
주요시설
- MOCVD, MBE 등의 단결정재료 성장실(Growth Labratory), PL, DLTS, Hall 측정장치 등의 전기,광학 특성 측정실(Characterization Laboratory)
- 리소그라피 및 식각 및 금속증착, 절연막 증착, 열처리 장치 등의 반도체 소자제조공정을 위한 청정실(Clean Room)
개요
- 반도체산업은 우리나라 수출을 주도하는 핵심 산업이며 앞으로도 지속적으로 경쟁력을 키워야하는 매우 중요한 분야이다.
반도체물성연구소에서는 실리콘 메모리 위주의 산업 구조에서 벗어나 부가가치가 높은 비메모리 분야 중 화합물반도체를 특화하여 광 및 전자소자 분야의 나노급 소자 개발과 나아가서 직접회로 제작과 분석 및 연구를 위해 반도체공정연구센터를 설치하였다. - 산업자원부 지원 규모 : 114억원(2003~2006)
반도체공정센터의 역할
- 대학에서 기업의 중점 애로기술을 지원하고, 화합물반도체 관련 인력을 양성하며 산업체에 종사하는 인력을 재교육함
- 기존의 실험실외에 새로운 크린룸 전용의 새건물을 완공하여 파일러트 생산 규모의 최신시설을 설치하고 도체 기초생산시설로 활용하여 화합물반도체 분야의 공정서비스(수탁, 공정개발, 단위 수탁)를 수행함
- 연구 기반 거점대학으로서 신기능 소자 연구의 활성화함
- 반도체물성연구소의 기초 물성연구와 더불어 반도체공정교육센터를 통한 실질적인 산갋학 협력을 주도함
- 서울대 반도체 공동연구소와 경북대 반도체 공정교육센터와 역할을 분담하여 새로운 반도체 산업 인큐베이터의 역할과 함께 중소기업의 애로기술에 적극적으로 대처함
반도체공정기술연구센터는 표 대학과 산업체가 공동활용 가능한 부가가치가 높은 화합물반도체 분야이며 더 나아가서 집적회로 제작과 분석 및 연구의 국제경쟁력을 제고할 수 있도록 산업자원부 산업기반기술조성사업의 일환인반도체 연구기반 혁신사업과 전라북도 의 지원을 받아 신축하였다.
주요사업은 화합물반도체의 일괄공정장비 및 특성평가장비의 구축과 그 운영을 통한 공정서비스 제공, 반도체 기술인력양성 교육 프로그램 운영, 관련산업체 네트워크 형성, 첨단 기술동향과 기술 정보 제공, 관련산업체에게 시설 및 장비의 공동활용과 시험생산 및 기술개발을 효율적으로 지원하므로써 산학연 공동연구의 장을 제공하는 것을 목표로 한다.
설립목표
- 화합물반도체 공정인력의 원활한 공급
- 산학연 화합물반도체 관련기관의 연구기반 시설지원
- 광소자 반도체공정 교육 및 신공정 개발
- 화합물반도체의 부분공정 전문화로 관련산업의 종합적 발전 도모
센터 활용 및 효과
- 센터활용
- 산학협력 프로그램 활성화
- 산업체 전문공정교육 실시 및 교육연구시설 확충
- 반도체공정 인력 및 화합물반도체 핵심 전문인력 배출
- 지역 내 반도체 관련 산업발전의 촉진
- 센터활용에 따른 효과
- 주변대학 및 기업에 관련시설 개방을 통한 지원
- 첨단기술 개발 촉진 유도
- 우수한 반도체 인력의 원활한 공급
- 수도권에 집중된 반도체 산업의 불균형 해소
- 호남권역 반도체 관련 전문가들의 네트워크 강화로 지역 반도체 산업발전 도모
센터사업
- 화합물반도체 에피성장 및 공정장비 확충을 위한 공정연구기반 구축
- 화합물반도체 LED/LD 분야 에피성장장비 확충
- 화합물반도체 LED/LD 분야 일괄공정용 장비 및 측정장비 확충
- 화합물반도체 LED/LD 소자 공정 및 특성분석 전용공간 확보(청정실)
- 화합물반도체 고급인력양성
- 화합물반도체 설계.공정 교육 프로그램 개발 및 실시
- 지역내의 교육기관과의 연계 교육실시
- 화합물반도체 공정장비 사용자 교육(대학/기업)
- 반도체공정교육.연구협력 네트워크 구축
- 3개 대학 협력을 통한 상호보완 및 공동연구 활용
- 학교, 기업 및 연구소 등의 시설 공동활용을 통한 고가장비의 활용 증대
- 화합물반도체 분야의 대학 네트워크 구축