반도체과학기술학과
나노 및 광반도체, 전자소자 분야의 핵심인력을 배출하기 위한 최첨단의 연구 및 교육환경을 갖추고 있습니다.
반도체물성연구소와 반도체 청정실을 갖춘 반도체공정연구센터는 학생들의 교육과 연구를 위한 산실로 활용되며 반도체과학기술학과의 모든 학생들이 첨단 연구시설에서 교육과 실험을 하게 됩니다.
반도체물성연구소와 반도체 청정실을 갖춘 반도체공정연구센터는 학생들의 교육과 연구를 위한 산실로 활용되며 반도체과학기술학과의 모든 학생들이 첨단 연구시설에서 교육과 실험을 하게 됩니다.
반도체공정, 측정시설 및 주요장비
반도체청정실 (Ⅰ)
Class 100: 20평, Class 1000: 100평
주요장비
MOCVD(Gan 용), Mask Aligner(Karl-Sus), PR Coater/developper, Hot Plate, Wet Station, IC Ispection Microscope(Leitz), ICP/RIE Etcher, rta(aCTIVATION), RTA(Alloy), E-beam Evaporator, PECVD, Alpha-step, Ellipsometer, FE-SEM, Hall Measurement, CV Profiler, Probe Station, CV Profier Probe Station, LD/LED Measurement Set, Parameter Analyzer
반도체공정, 측정시설 및 주요장비
반도체청정실 (Ⅱ)
Class 1000: 60평
주요장비
PR Coater, Hot Plate, Wet Station, IC Ispection Microscope(Nikon), ICP/RIE Etcher, RTA, E-beam Evaporator, PECVD DI Water Generator, Probe Station, Parameter Analyzer
관련연구실
MOCBD실
MOCBD(Exitron), MOCVD(Tomas Swan), Inspection Microscope, Wet Station, DI Water Generator
- 1. MBE실 : MBE, Wet Station, DI Water Generator
- 2. Optical Charaterization실 : PL, Ramann, DLTS, Laser
- 3. Electrical Charaterization실 : Hall Measurement, Cryostat
- 4. Measurenmt실 : SEM, XRD, AFM
- 5. Electrical Deviec실 : ICP/RIE, PECVD, Thermal Evaporator, Furnace, Sputter, IC Inspection Microscope, Hot Plate, Wet Station, DI Water Generator
- 6. Sensor실 : MOCVD, Optcal Sensor Measurement Parameter Analyzer
전자회로실험실
Probe Station, Parameter Analyzer, Pulse Generator, Oscollo scope, Power Generator, Signal Generator, Multimeter, Test and Measurement Set, etc.
시뮬레이션실
Work Station, PC, 관련 Software, Beam Projector, etc